1. 水質: 電阻率: 18.2MΩ.cm，TOC:≦5 ppb，微生物: ≦0.1 CFU/ml。
2. 超純水流速≧ 2公升/分鐘。
3. 內建即時線上有機碳濃度偵測儀(TOC monitor): TOC監測範圍可達1-99 ppb。
4. 具超純水定量取水設計: 可控制定量取水範圍從100 ml到60L。
5. 具彩色顯示幕取水面板: 可單鍵設定定量取水毫升數(ml)，動態顯示完整用水功能及系統資訊-時間、水溫、電阻率、TOC濃度、定量取水毫升數(ml)..等
6. 內建雙波長185/254nm低壓汞蒸氣氣紫外燈，使用高純度高UV穿透率石英管。
7. 具全管線自動消毒設計: 可程式自動執行全系統循環消毒程序(非人工拆除清洗)， 確保管材內壁潔淨度達到徹底殺菌效果。
8. 具超純水質紀錄下載設計: USB port 友善存取介面，不須拆機即可儲存水質歷史紀錄。
9. 主機具耗材辨識功能: 可感應耗材晶片確保品質安全性。
10. 主機具延伸取水槍設計: 取水口可調整高度以配合不同高度之取水容器，取水流速可從滴流至全速每分鐘2公升。
11. 主機落地面積小於 25公分 x 40公分。