1. 超純水水質: 電阻率: 18.2MΩ.cm、TOC: <5ppb、微生物< 0.1 CFU/ml。
2. 超純水製水流速: 可達1.5公升/分鐘。
3. 水質顯示監控: 簡單易讀的電子水質顯示, 可顯示電阻率(MΩ.cm)，可定期校正及第三方認證。
4. 內建強力低壓汞蒸氣電氣放光紫外燈: 具185/254nm 雙波長，有效殺菌以及光氧化有機污染物至5ppb以下。
5. 含0.1 μm濾膜組: 濾膜為多層堆疊導流式低壓損高流速PES材質，有效攔截奈米級微粒、微生物、膠體 及細菌殘骸。
6. 具自動週期性循環: 可維持低微生物的高品質超純水。
7. 具分離式超純水取水座，可安裝終端過濾膜組。
8. 可加裝腳踏取水開關。