1. 純水水質: 電阻率: 5 MΩ.cm、TOC: <30 ppb、微生物< 10 CFU/ml。
2. 純水製水流速: 可達10公升/小時。
3. 水質顯示監控: 簡單易讀的電子水質顯示, 可顯示電阻率(MΩ.cm),可定期校正及第三方認證。
4. 具停水保護裝置,能立即關閉進水電磁閥及系統運作以避免系統空轉。
5. 具強力紫外殺菌燈 (添加微量指示性氬氣),有效降低後端超純水系統的生物負載量(bio-burden)。
6. 超純HDPE材質的純水儲槽,20∼1,000公升可供選擇。
7. 搭配複合式空氣過濾器:特殊活性碳去除VOC,次微米濾膜除懸浮顆粒/微生物