1. 水質: 電阻率: 18.2MΩ.cm，TOC:≦5 ppb，微生物: ≦0.1 CFU/ml。
2. 純水製水速度≧10公升/小時，超純水流速≧ 1.2公升/分鐘。
3. 單機可提供超純水、純水、RO水 3種水質。
4. 超純水具定量取水設計: 定量範圍100ml-7L，可做外部多點校正。
5. 內建7公升動態循環UV殺菌儲槽: 具溢流警報功能，程式控制每小時自動啟動5分鐘殺菌循環，避免儲槽靜止死水，有效控制微生物、避免生物膜(Biofilm)形成。
6. 內建雙波長185/254nm低壓汞蒸氣氣紫外燈 : 有效控制系統內的微生物及總有機碳濃度。
7. 具自動管線消毒與耗材更換提醒: 智慧型晶片讀取設計，輕鬆完成管線消毒程序及耗材更換。
8. 具超純水質紀錄下載設計: USB port 友善存取介面，不須拆機即可儲存水質歷史紀錄。
9. 彩色LED直覺操作面板: 隨插即用的設計、多語言模式選擇，可輕易進入操作模式。
10. 主機落地面積小於 25公分 x 45公分。